气体工业名词，半导体工业用的气体总称电子气体。按其门类可分成纯气，高纯气和半导体类似材料气体三大类。类似材料气体主要用作外延，掺入和转印工艺；高纯气体主要用于溶解气和装载气。电子气体是特种气体的一个最重要分支。电子气体按纯度等级和用于场合，可分成电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。
　　近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的很快发展，电子气体市场需求量显著快速增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。据理解，我国在国产化方面获得尚之信进展：国产高纯氨转变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告完结，高纯氯化氢已顺利关上国内市场。

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配送
普通无机组份标准气体的生产周期一般为2-3天；有机组份标准气体的生产周期一般为3-4天；易吸附、腐蚀性组份标准气体的生产周期为5-7天；复杂组份的标准气体的生产周期为10-15天。上海及周边地区标准气体的配送是根据客户订单及区域的划分，有计划的组织公路运输；外地及其他省市地区选用物流配送；出口一般选择水路航运
  注：凡含SO2、H2S、NO2、NH3等具有腐蚀性气体组份标准气体都采用特殊处理