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电力标准气体

型号:1L-50L

产品时间:2019-09-26

简要描述:

电力标准气体广泛用于大规模集成电路(L.S.I)超大规模集成电路(V.L.S.I)和半导体器件生产中,主要用于气相外延(生成)、化学气相淀积、掺杂(杂质扩散)、各类蚀刻和离子注入等工艺中。

详细介绍

电力标准气体广泛用于大规模集成电路(L.S.I)超大规模集成电路(V.L.S.I)和半导体器件生产中,主要用于气相外延(生成)、化学气相淀积、掺杂(杂质扩散)、各类蚀刻和离子注入等工艺中。

硅烷混合气体 0.5-50 Ar、N2、He、H2 5-12 4-47 可根据用户要求提供
磷烷混合气体 5ppm-23 Ar、N2、He、H2 5-12 0.7-17
peng烷混合气体 5ppm-10 Ar、N2、He、H2 5-10 4-17
砷烷混合气体 5ppm-5 Ar、N2、He、H2 5-12 0.7-17
硒化氢混合 10ppm-5 Ar、N2、He、H2 5-12 4-17
乙硅烷 5ppm-2 Ar、N2、He、H2 ≥5 0.7-17
锗烷 5ppm-0.5 Ar、N2、He、H2 ≥5 0.2-17

包装:1-40(升)瓶装,标准充装压力:9.5 MPa,组分和浓度范围可根据要求配制。

 


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